晶舟[发明专利]
2022-01-18
来源：华拓网
专利内容由知识产权出版社提供
专利名称：晶舟专利类型：发明专利发明人：李俋贤
申请号：CN201811291681.6申请日：20181031公开号：CN111128814A公开日：20200508
摘要：本公开提供一种晶舟，包括第一预设数量个支撑柱，每个所述支撑柱上固定有第二预设数量个支撑件，所述支撑件包括：第一支撑部，具有第一长度；第三预设数量个第二支撑部，上表面为仅具有一个顶点的曲面，下表面与所述第一支撑部连接，具有第二长度，且所述第二长度小于所述第一长度。本公开提供的晶舟可以有效改善晶舟支撑件与晶圆的磨损、颗粒飘落问题，同时避免降低支撑件的支撑强度。
申请人：长鑫存储技术有限公司
地址：230000 安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室
国籍：CN
代理机构：北京律智知识产权代理有限公司
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