一种5DOF光路控制磁悬浮驱动器[发明专利]
2022-07-13
来源:华拓网
专利内容由知识产权出版社提供
专利名称:一种5DOF光路控制磁悬浮驱动器专利类型:发明专利
发明人:孙凤,赵川,金俊杰,徐方超,李强,王韬宇申请号:CN202010908340.X申请日:20200902公开号:CN112122793A公开日:20201225
摘要:一种5DOF光路控制磁悬浮驱动器,该驱动器包括上端盖1、浮子4、径向定子5、连接环6和下端盖7;浮子4位于径向定子5内,浮子4与径向定子之间留有气隙,径向定子5安装在连接环6内,上端盖1和下端盖7分布于连接环6两侧;本发明实施例提供的5DOF光路控制磁悬浮驱动器能够实现五自由度的运动控制,且结构紧凑,具有高响应速度,高精度的特点。
申请人:沈阳工业大学
地址:110870 辽宁省沈阳市铁西区经济技术开发区沈辽西路111号
国籍:CN
代理机构:沈阳智龙专利事务所(普通合伙)
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