发布网友 发布时间:2022-04-21 02:32
共3个回答
热心网友 时间:2023-11-04 16:08
在磁控溅射中,靶材的分类不是根据其材料的类型,而是根据其物理结构和性质。金属合金靶材通常具有晶粒较大、密度较高、结构紧密等特点,适用于制备多种金属薄膜。陶瓷靶材则具有晶粒细小、密度相对较低、化学稳定性好等特点,适用于制备一些氧化物、氮化物等复杂材料的薄膜。热心网友 时间:2023-11-04 16:09
首先靶材有纯金属靶,也有合金靶(两种或者多种金属掺在一起),还有就是一些不导电的靶材,好多都是氧化物的靶材。把氧化物的靶材成为陶瓷靶也不是很规范的。热心网友 时间:2023-11-04 16:09
你好!