磁控溅射中的靶材分为金属合金靶和陶瓷靶,那像一些金属氧化物的靶材为什么叫陶瓷靶呢?

发布网友 发布时间:2022-04-21 02:32

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热心网友 时间:2023-11-04 16:08

在磁控溅射中,靶材的分类不是根据其材料的类型,而是根据其物理结构和性质。金属合金靶材通常具有晶粒较大、密度较高、结构紧密等特点,适用于制备多种金属薄膜。陶瓷靶材则具有晶粒细小、密度相对较低、化学稳定性好等特点,适用于制备一些氧化物、氮化物等复杂材料的薄膜。
可以说,金属氧化物靶材实际上是一种特殊的陶瓷靶材,因为它们通常具有与传统陶瓷类似的物理性质和结构。因此,金属氧化物靶材也被归类为陶瓷靶材之一。

热心网友 时间:2023-11-04 16:09

首先靶材有纯金属靶,也有合金靶(两种或者多种金属掺在一起),还有就是一些不导电的靶材,好多都是氧化物的靶材。把氧化物的靶材成为陶瓷靶也不是很规范的。
常用的靶材有:硅铝靶、氧化钛靶、锡靶、锌铝、锌锡、锌锡锑、钛靶、不锈钢靶、铬靶、铌靶以及旋转ZAO靶材等。

热心网友 时间:2023-11-04 16:09

你好!
很多陶瓷就是金属氧化物啊
打字不易,采纳哦!
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